Perfluoreter guma (FFKM)je odličan materijal za brtvljenje. Zbog svojih superiornih performansi, našao je široku upotrebu u sistemu proizvodnje poluprovodnika. Jedan od primarnih potrošnih materijala potrebnih za proizvodnju integrisanih kola su perfluoroeterski zaptivni prstenovi.
Glavni monomeri u perfluoroeterskoj gumi su tetrafluoroetilen i perfluoroalkil vinil etar, koji su kopolimerizovani sa malom količinom trećih monomera sa tačkama vulkanizacije. To je guma koja uopće ne sadrži CH veze. Sadržaj fluora u njegovoj molekularnoj strukturi, struktura i sadržaj perfluoriranog vinil etera, energija veze i količina umreženih veza u procesu vulkanizacije utiču na performanse vulkaniziranog spoja i temperaturu staklastog prijelaza. Struktura i komponente su različite, kao i njihove performanse. Sljedeće su osnovne karakteristike performansi perfluoroeter gume:
1) Fizička svojstva: Gustoća je 1.9-2.0g/cm3, fizička i mehanička svojstva su slična fluoro-gumi, a kompresijski set na visokoj temperaturi je superiorniji od fluor-kaučuka.
2) Hemijska otpornost: Hemijski je otporna.
3) Otpornost na visoke i niske temperature: radna temperatura je tipično 260290 stepeni, ali se može koristiti povremeno na 316 stepeni. Tg (temperatura staklastog prelaza) nekih perfluoroeterskih guma je -19 stepen.
4) Otpornost na paru visoke temperature.
5) Niska količina padavina i ispuštanja.
6) Otpornost na plazmu.
Ima visoku čistoću i karakteristike proizvoda niske količine padavina u okruženju plazme, a može izdržati udar plazme dugo vremena.Pouzdanost elastomernih zaptivki je kritična u proizvodnji poluvodiča, a trošak zaustavljanja proizvodnje radi zamjene zaptivki je izuzetno visok. Zahtjevi za čistoću i čistoću pečata su izuzetno strogi kako bi se izbjegli potencijalni rizici. Istovremeno, zaptivke moraju biti sposobne da rade duži vremenski period pod pritiskom visokog vakuuma, korozivnih hemijskih gasova i okruženja visoke temperature.
Sirovine za perfluoroetersku gumu su skupe i obično se koriste u proizvodnji poluprovodnika. Otporan je na plazma koroziju, plinsku koroziju, kiselu i alkalnu koroziju, koroziju na visokim temperaturama, visoke zahtjeve za čistoćom za gumene brtve, pomaže u održavanju integriteta brtve, smanjuje vrijeme održavanja i poboljšava sigurnost, te je najbolja brtva za proizvodnju poluprovodnika Materijal.