Poluprovodnički vakuum sistem je jedna od ključnih opreme koja se koristi za proizvodnju poluprovodničkih uređaja. To je zatvoreni sistem u visoko čistom okruženju niskog pritiska za rukovanje i obradu poluprovodničkih materijala i uređaja.
U poluvodičkim vakuum sistemima, gumene zaptivke visokih performansi se često koriste zbog zahtjeva za visokom čistoćom i niskim stopama curenja. Evo nekih uobičajenih tipova gumenih brtvila:
Viton (FPM) zaptivke: Viton je fluoroelastomer otporan na hemikalije i visoke temperature koji se široko koristi u vakuum sistemima. Ima odličnu otpornost na visoke temperature, otpornost na koroziju i nisku plinopropusnost, što ga čini pogodnim za zahtjeve za zaptivanje koji izdržavaju visok vakuum i visoke temperature okruženja.
Nitril (NBR) Zaptivke: Nitril je sintetička guma opšte namene sa dobrom otpornošću na ulje i habanje. U poluvodičkim vakuum sistemima, nitrilne zaptivke se uglavnom koriste u nekim aplikacijama koje nisu visoke temperature, koje nisu korozivne, kao što su niski vakuum i priključci gasovoda.
Silikonska (VMQ) brtva: Silikon je silikonska guma otporna na visoke temperature sa dobrom elastičnošću i otpornošću na toplinu. Često se koristi u poluvodičkim vakuumskim sistemima kako bi izdržao zahtjeve za zaptivanje u okruženjima s visokim temperaturama, kao što su toplinska obrada, žarenje i visokotemperaturno čišćenje parom.
EPDM brtva: EPDM je etilen propilen guma sa dobrom otpornošću na oksidaciju, otpornost na kiseline i alkalije. U poluprovodničkim vakuum sistemima, EPDM zaptivke se često koriste u aplikacijama koje nisu visoke temperature, koje nisu korozivne, kao što su niskovakuumski i plinovodni cjevovodi.
Ove gumene brtve imaju različite karakteristike i područja primjene. Prilikom odabira odgovarajuće zaptivke moraju se uzeti u obzir faktori kao što su radni uslovi sistema, temperaturni opseg, svojstva medija i zahtjevi za pritiskom. Osim toga, kako bi se osigurale performanse zaptivanja, proces proizvodnje i ugradnje brtvi također treba slijediti stroge zahtjeve procesa.
U poluprovodničkim vakuum sistemima, pored gumenih zaptivki, često se koriste gumene zaptivke za postizanje efikasnog zaptivanja. Evo nekih uobičajenih tipova gumenih brtvila:
O-prsten zaptivka: O-prsten je gumena zaptivka sa kružnim poprečnim presekom i široko se koristi u poluprovodničkim vakuum sistemima. Ima dobre performanse zaptivanja i sposobnost deformacije kompresije, a može se prilagoditi različitim zahtjevima za zaptivanje, kao što su spojevi cijevi, ventili, spojevi itd.
Ravna zaptivka: Ravna zaptivka je ravna gumena zaptivka koja se obično koristi za prirubničke veze u poluprovodničkim vakuum sistemima. Postiže zaptivanje kontaktom sa površinom prirubnice i obično je napravljen od gumenog materijala otpornog na visoke temperature kao što je Viton ili Silikon.
Zaptivka u obliku slova U: Zaptivka u obliku slova U je gumena zaptivka u obliku slova U pogodna za specifične potrebe zaptivanja u poluprovodničkim vakuum sistemima. Često se koristi za zaptivanje klipova, klipnjača, cilindara i drugih komponenti, a ima dobre performanse zaptivanja i otpornost na deformaciju kompresije.
Zaptivka u obliku slova V: Zaptivka u obliku slova V je gumena zaptivka u obliku slova V koja se obično koristi za ventile i rotirajuće zaptivke vratila u poluvodičkim vakuum sistemima. Efikasno zaptivanje postiže kontaktom sa zaptivnom površinom, ima dobro zaptivanje i otpornost na habanje.
Izbor ovih gumenih zaptivki se određuje na osnovu specifičnih zahteva za zaptivanje, radnih uslova i svojstava medija. U isto vrijeme, odabir materijala zaptivke je također vrlo važan. Obično korišćeni materijali uključuju Viton, Nitril, Silikon, itd. Specifičan odabir treba uzeti u obzir faktore kao što su temperaturni opseg, otpornost na hemijsku koroziju i brzina curenja gasa. Prilikom postavljanja zaptivke, treba obratiti pažnju na održavanje površine zaptivanja čistom i osigurati da je zaptivač pravilno postavljen i pritisnut kako bi se postigao dobar efekat brtvljenja.
Popularni tagovi: poluvodičke zaptivke za vakuumski sistem, proizvođači, dobavljači, fabrika za poluvodičke vakuumske sistemske zaptivke
